产品中心

覆盖MPCVD制备设备、培育钻石及金刚石功能材料三大产品体系，提供全产业链解决方案

VCR 面密封接头

5 款型号

VCR 面密封接头 G 系列

5 款型号

316L 金属对金属面密封接头，无弹性体，适配超高纯气体与流体系统

316L-GN-FMR4

VCR 阴螺纹螺母接头

1/4" VCR 内螺纹，金属面密封，316L 材质，适配超高纯工艺气体管路

VCR 阳螺纹螺母接头

1/4" VCR 外螺纹，外螺纹活接结构，密封可靠，适配高纯气体系统

VCR 长焊接接管

VCR 转对焊长接管，一端 VCR 阳螺纹、一端 1/4" 对焊口，L=43.2mm

VCR 短焊接接管

VCR 转对焊短接管，L=27.9mm，适用于紧凑布局的高纯管路

VCR 金属垫片

VCR 金属面密封垫片，金属对金属密封，可重复使用

口径1/4"

材质316L

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焊接接头

3 款型号

微焊接接头 I 系列

3 款型号

316L 微焊接弯头/三通/四通，内壁光滑无死角，适配半导体工艺气体

316L-IE-TB4

微焊接弯头

1/4" 对焊弯头 90°，316L 材质，焊接后内壁光滑无死角

微焊接三通

三端 1/4" 对焊口，均布分流设计，316L 材质适配超高纯系统

微焊接四通

四端 1/4" 对焊口，多点分配应用，内壁光滑适配高纯气体分配系统

口径1/4"

材质316L

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隔膜阀

3 款型号

隔膜阀系列

3 款型号

手动/气动隔膜阀，无死角隔膜密封，250psi 起，适配超高纯工艺气体

316L-DV12A-FMR4-HP

手动低压隔膜阀

手动隔膜阀 250psi，VCR 1/4" 阴螺纹，无死角结构，适用于超高纯工艺气体

工作压力MAX. 250psi (1.72MPa)

气动常闭隔膜阀

气动常闭隔膜阀，失气关闭，250psi，VCR 1/4" 阳螺纹，适合自动化控制

工作压力MAX. 250psi (1.72MPa)

中流量隔膜阀

CV 0.65 中流量隔膜阀，1/2" VCR 连接，适用于工艺气体主管路

工作压力MAX. 250psi (1.72MPa)

CV 值0.65

连接1/2" VCR

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减压阀

2 款型号

减压阀系列

2 款型号

金属膜片减压阀，入口最高 31MPa，输出压力稳定，适配半导体气柜

316L-PRE1-MR4

小流量减压阀

小流量减压阀，入口压力最高 24.1MPa，金属膜片密封，适用于高纯气体精密减压

联接式膜片减压阀

联接式膜片减压阀，入口压力最高 31.0MPa，输出稳定，适用于高压气源精密减压

单向阀

2 款型号

单向阀与计量阀

2 款型号

全焊接单向阀与波纹管计量阀，无弹性体，开启压力低，适配超高纯系统

316L-CV3-FMR4-HP

全焊接单向阀

全焊接结构单向阀，开启压力 <2psi，工作压力 20.7MPa，EP 表面，适配超高纯气体防倒流

波纹管计量阀

波纹管计量阀，波纹管密封无泄漏，工作压力 4.8MPa，适用于分析仪器与高纯气体微调

工作压力MAX. 4.8MPa

CV 值0.19（计量）/ 0.3（调节）

材质316L

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气体过滤器

2 款型号

气体过滤器系列

2 款型号

烧结金属/陶瓷滤芯过滤器，最小 2.5nm 精度，20.7MPa，适配超高纯气体过滤

316L-FT4-MR4-S15-HP

粉末烧结过滤器

粉末烧结滤芯气体过滤器，过滤精度最小 0.5 微米，工作压力 20.7MPa

陶瓷滤芯过滤器

陶瓷滤芯过滤器，过滤精度 2.5 纳米，满足半导体工艺气体深度过滤要求